近年來，在深圳集成電路工廠和深圳廠房裝修的數量迅速增加，建設一座集成電路工廠需要花費數億美元，由于其生產的復雜性和連續的特點，需要有很多的動力供應系統連續穩定運行才能滿足生產要求，動力系統對工廠來說就像一個人的血液循環系統一樣，不允許出現任何故障。

集成電路工廠運行維護的目的

安全性

一般的集成電路工廠都要使用到幾十種化學藥品和特殊氣體，而這些化學藥品中不乏有毒、強腐蝕、易燃易爆等危險品，加上相對集中而又密閉的作業環境，如何保證工廠的安全是擺在我們面前的首要問題，即便是在管理水平很高的發達國家，集成電路工廠的事故也常有發生，今年上半年在國內的集成電路工廠出現過藥品泄漏事件、火災事故、特殊氣體泄漏事故也不在少數，應該引起我們的高度重視。

穩定性

這是指為滿足生產所需要的各種動力條件品質的穩定性，包括凈化間的溫濕度穩定、純水、氣體、電力、藥品等的穩定供應，因為一旦某個系統出現熱任何問題都會影響整個生產線，輕則造成返工，重則成批產品報廢。

環保性

集成電路生產要排出大量的廢水、廢氣、廢液及固體廢棄物，保證這些有毒有害的物質得到合理處理，減少對環境的污染是我們共同的責任。