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對于微電子、半導體、精密機械等制造領域,深圳廠房裝修從空氣潔凈方面要實現若干主要指標,如空氣中的塵埃粒子和細菌數、溫濕度和壓力的控制范圍,還要附帶除去特定的影響工藝的有害物質和臭氣等。為達到相關的生產過程,應該同時從技術上滿足一下要求:低噪聲、低震動、防靜電作用、高精度的溫濕度控制、氣體和水的高純度、潔凈服飾和潔凈輔助設施、化學污染的防止、監測和管理等。
以生產256Mbit的工業潔凈室為例,應達到一下所有標準,芯片生產的另一個顯著特點是工業過程復雜,集成度越高,工藝程序越多,多達數百工藝,依靠人工是不能實現的。
據統計,對于常規的半導體芯片工廠,其全年能耗為辦公樓的15倍。工廠使用的能源70-80%位電力,其中生產設備用電占4成,空調設備用電占4成,其他為照明、純水制備、廢水處理等。而空調設備用電量中,50%為冷熱源耗電,25%為空氣和水的輸送動力耗電。工藝設備中則以擴散工藝為甚,其散發的熱量就構成了空調的冷負荷。空調輸送能耗則主要因為潔凈廠房的換氣次數太高,隨著工藝的超凈化,最高換氣次數可達600次/時。所以上世紀開始,其他國際對芯片生產的潔凈廠房設計不斷進行改進,其主要變化不斷更新。
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