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微電子廠房風(fēng)機過濾單元送風(fēng)方式由哪幾部分組成？

作者：宏偉裝飾來源：degaowy.com時間：2016-11-22 22:34:34字體：[ 大 中 小 ]
       風(fēng)機過濾單元送風(fēng)方式主要由新風(fēng)處理空調(diào)機組、潔凈室吊頂上安裝的風(fēng)機過濾單元機組（Fan Filter Unit 簡稱 FFU）、處理潔凈室內(nèi)負荷的干式表冷器盤管、送、回風(fēng)靜壓箱、回風(fēng)夾道等構(gòu)成。這種方式不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機房，送風(fēng)靜壓箱為負壓。空氣由 FFU 送到潔凈室，從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱，在回風(fēng)夾道設(shè)干式表冷器處理潔凈室內(nèi)負荷。新風(fēng)處理機可集中設(shè)在空調(diào)機房內(nèi)，處理后新風(fēng)直接送入送風(fēng)靜壓箱。

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